超大行程多轴精密运动平台
详细说明
超大行程多轴精密运动平台
Multi-axis precision motion platform with large stroke
性能指标
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指标 |
参数 |
单位 |
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|
轴 |
X |
Y |
Z |
C |
B/A |
|
|
行程 |
3000-7000 |
1000-3500 |
100-1000 |
0-360 |
0-360 |
mm,° |
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定位精度 |
±10 |
±10 |
±10 |
±3 |
±3 |
μm,arc sec |
|
重复定位精度 |
±3 |
±3 |
±0.4 |
±1 |
±1 |
μm,arc sec |
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最大速度 |
400 |
400 |
500 |
500 |
500 |
mm/s,°/s |
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外形尺寸 |
根据行程范围可变 |
mm×mm×mm |
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