探针运动台

详细说明

探针运动台

●直线轴行程：400mm×650mm×30mm(XYZ)

●旋转轴θ角度：± 5 arc sec

●直线轴重复定位精度：±1μm(XYZ)

●旋转轴重复定位精度：±1.2”(θ)

●结构、行程可定制