晶圆传输机械手

详细说明

晶圆传输机械手

●晶圆尺寸：300mm/600mm

●平动定位重复精度：±0.2mm

●平动速度：1000mm/s

●角速度：360°/s

●平动行程：360mm

●垂向行程：300mm

●负载能力：1kg～2kg

本体重量：50kg