大气双指晶圆搬运机械手

详细说明

大气双指晶圆搬运机械手

●晶圆尺寸：300mm/600mm

●重复精度：±0.2mm

●运动范围：320mm（Z），960mm（R）,165°(C)

●搬运速度：275mm/s（Z），750mm/s（R）,225°/S(C)

●负载能力：1kg～3kg

●本体重量：58kg