大气双臂晶圆搬运机械手

详细说明

大气双臂晶圆搬运机械手

●晶圆尺寸：300mm/600mm

●重复精度：±0.2mm（ZR），0.1°(C)

●运动范围：300mm（Z），790mm（R）,340°(C)

●搬运速度：330mm/s（Z），800mm/s（R），220°/s(C)

●负载能力：1kg～3kg

●本体重量：50kg