真空晶圆搬运机械手

详细说明

真空晶圆搬运机械手

●晶圆尺寸：300mm/600mm

●平动定位重复精度：±0.2mm

●运动范围：520mm(R),40mm(Z),330°(θ)

●搬运速度： 300mm/sec(R),20mm/sec(Z),120°/sec(θ)

●耐真空度：1.33×10^-6Pa

●负载能力：1kg～2kg

●本体重量：50kg