垂向直线导线运动模组
详细说明
垂向直线导向运动模组
Vertical linear guided motion module
推荐应用
激光加工、半导体、显微镜、光纤对准
产品特性
●高刚度气浮导向；
● 直线电机驱动，高动态响应；
●气浮重力补偿、大负载；
●可选行程、高精度；
性能指标
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指标 |
参数 |
单位 |
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行程 |
35 |
60 |
mm |
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定位精度 |
±0.5 |
±0.5 |
μm |
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重复定位精度 |
±0.1 |
±0.1 |
μm |
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直线度 |
±1.0 |
±1.0 |
μm |
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最大速度 |
200 |
200 |
mm/s |
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负载能力 |
10 |
10 |
Kg |
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外形尺寸 |
133.4×146.6×(251.8~276.8) |
133.4×146.6×(301.8~337.3) |
mm×mm×mm |
