平面直线导向运动模组
详细说明
平面直线导向运动模组
Plane linear guided motion module
推荐应用
激光加工、半导体、显微镜、光纤对准
产品特性
●高刚度气浮导向；
● 十字堆叠，结构简单；
●直线电机驱动，高动态响应；
●可选行程、高精度；
性能指标
|
指标 |
参数 |
单位 |
|||
|
轴 |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程 |
100 |
150 |
mm |
||
|
定位精度 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
μm |
|
重复定位精度 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
μm |
|
直线度 |
±1.0 |
±1.5 |
μm |
||
|
平面度 |
±1.0 |
±1.5 |
μm |
||
|
最大速度 |
500 |
500 |
mm/s |
||
|
最大加速度 |
1 |
1 |
g |
||
|
负载能力 |
5 |
5 |
Kg |
||
|
外形尺寸 |
240×240×100 |
290×290×100 |
mm×mm×mm |
||
