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直线机械导向运动模组

直线机械导向运动模组

详细说明

直线机械导向运动模组

Linear  mechanically  guided  motion  module

推荐应用

 

激光加工、半导体、精密医疗、显微镜、光纤对准

 

产品特性

高刚度交叉轮子导向;

 直线电机驱动,高动态响应;

轻质量高模态设计;

可选行程、高精度

 

性能指标

 

指标

参数

单位

行程

100

150

200

mm

定位精度

±0.5

±0.5

±0.5

μm

重复定位精度

±0.1

±0.1

±0.1

μm

直线度

±1.5

±2.0

±2.0

μm

最大速度

350

350

350

mm/s

负载能力

10

10

10

Kg

外形尺寸

240×170×50

290×170×50

340×170×50

mm×mm×mm